16 décembre 2008
Quand les microtores quittent le nid…
Violaine Salvador

Les équipes de microscopie électronique et de photonique du SP2M ont réalisé la micromanipulation d’un microtore de silice (diamètre 40 µm) dans un FIB (Focussed Ion Beam). Le microtore est initialement rattaché par un pied au substrat de silicium dans lequel il a été gravé. La pointe du micromanipulateur est soudée à la surface du tore par le faisceau d’ions qui craque un gaz organométallique. Puis le tore est séparé de son pied par gravure sous le faisceau d’ions et peut être ensuite manipulé, déposé, etc. Exemple d’application : positionner un microtore (qui est un résonateur) à proximité de boîtes quantiques afin d’obtenir de meilleurs facteurs de qualité. Cela sera réalisé plus aisément avec le nouveau FIB, qui dispose de 4 bras manipulateurs, et qui est en cours d’acquisition pour les plateformes de nanocaractérisation et de nanofabrication (PFNC, PTA) avec un financement de la Fondation Nanosciences.

 

Maj : 26/09/2016 (629)

 

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