Diffractomètre Couches Minces

Diffractomètre PANalytical Empyrean

 

 

=> Détermination des structure, orientation et microstructure (contraintes, tailles de grains...) de couches minces polycristallines, texturées ou épitaxiées.

 

=> Mesure d'échantillons polycristallins rugueux (géométrie faisceau parallèle).

 

=> Mesures de réflectivité sur couches minces pour des épaisseurs allant de quelques nm à la centaine de nm.

 

 

 

  • source: tube 1,8kW foyer type "Long Fine Focus" avec anode Co (intéressant notamment pour les échantillons contenant du fer)
  • goniomètre vertical θ/θ de rayon 240mm
  • optique amont:
    • miroir parabolique
    • ou bien bloc fente de divergence/fente d'anti-diffusion
  • optique aval et détection:
    • Détecteur Pixcel 0,1,2D avec fente d'anti-diffusion
    • ou bien collimateur long (0,09 0,18 ou 0,27 deg) et détecteur proportionnel (fente 0,1mm pour réflectivité - possibilité de rajouter un monochromateur graphite)
  • Platine échantillon chi, phi, z motorisés + berceaux RX/RY avec pilotage externe

 

 

 

Programmes de traitement/analyse des données:

 

Base de données ICDD

Highscore Plus (identification de phase - détermination des paramètres de maille, de la taille de cristallites - affinement Rietveld)

XPert Epitaxy (analyse de données de diffraction sur couches minces monocristallines - visualisation de cartographies de l'espace réciproque).

Routines "maison" de détermination de maille à partir de la matrice d'orientation (sous Igor Pro)

Motofit (analyse de données de réflectivité)

 

 

Contact: Stéphanie Pouget (stephanie.pouget[at]cea.fr)

 

Maj : 02/10/2014 (789)

 

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