Les sujets de thèses

Dernière mise à jour : 23-03-2017

INAC

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• Interactions rayonnement-matière

 

Développement de la cartographie de déformation par imagerie cohérente des rayons X et application aux nano-structures de semi-conducteurs pour l’électronique

SL-DRF-17-0225

Domaine de recherche : Interactions rayonnement-matière
Laboratoire d'accueil :

Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM)

Laboratoire Nanostructures et Rayonnement Synchrotron (NRS)

Grenoble

Contact :

Joël EYMERY

Vincent FAVRE-NICOLIN

Date souhaitée pour le début de la thèse : 01-10-2017

Contact :

Joël EYMERY

CEA - DRF/INAC/MEM/NRS

04 38 78 30 15

Directeur de thèse :

Vincent FAVRE-NICOLIN

ESRF-The European Synchrotron - ESRF

0476882811

Voir aussi : http://inac.cea.fr/Phocea/Pisp/index.php?nom=joel.eymery

Voir aussi : http://inac.cea.fr/Phocea/Vie_des_labos/Ast/ast_groupe.php?id_groupe=14

Voir aussi : http://www.esrf.eu/UsersAndScience/Experiments/XNP

L’optimisation des performances des nano-structures de semi-conducteurs demande un contrôle précis des champs de déformation. Ce sujet de thèse est centré sur l’utilisation de la diffraction cohérente des rayons X, qui permet de reconstruire des objets uniques avec une résolution de l’ordre de 5 à 10 nm. Les objectifs principaux sont :

- Le développement de l’imagerie cohérente pour la cartographie de déformation, en tenant compte de toutes les caractéristiques du faisceau X focalisé

- L’étude quantitative d’objets, même dans le cas où ils sont non-isolés

- L’application à des nano-structures contraintes Si-Ge ultra-minces, développées en collaboration par le CEA-LETI et ST Micro-electronics.



Ce sujet est co-financé par le synchrotron Européen ESRF, en prévision de la mise à jour de l’anneau synchrotron, qui permettra en 2019 un flux cohérent de rayons X 100 fois plus intense.

 

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